一、系统概述

多晶硅还原炉钟罩清洗系统主要用于西门子法多晶硅还原炉钟罩(炉筒)内壁的全自动清洗和烘干，其工作原理是以水力自驱动三维自动旋转喷头，形成360°的网状喷射表面，完成钟罩内部表面的水力扫射，用专用清洗剂等为主要清洗液，用纯水(去离子水或叫脱盐水)漂洗，用高纯水冲洗，完成清洗过程。其后用经过三级净化(10万级)的纯净空气，梯级加热，保证烘干完的钟罩不再结露，可直接进入生产作业。

二、系统特点

1、设计出本套系统，实现了还原炉的全自动清洗和烘干操作。可根据使用方不同还原炉、车间厂房的情况，能源条件不同，提供个性化设计。

2、设备性能可靠，核心部件、元件和附件原装进口。

3、自动化程度高：PLC+触摸屏柔性自动控制系统，实现对还原炉的自动清洗和烘干同时具有自动或手动功能。

4、适应范围广：可以在一套系统实现多种型号还原炉的清洗烘干。

5、节能、环保、安全：提供了预热(余热蒸汽、余热水或油)加热清洗水及干燥空气的方案。全密闭式清洗烘干系统，基本消除了对现场及操作人员的污染。

三、清洗工艺

还原炉吊装到位→预清洗→清洗剂(碱液)清洗→漂洗→高纯水冲洗→净化热空气干燥→常温干燥→还原炉吊走

四、设备组成

1、高压热水清洗动力装置1套由高压热水清洗机及附件(1套)，高压水自驱动三维洗罐器(1套)，三维洗罐器升降装置(气动，1套)组成。

2、热风净化烘干机组1套

进风净化等级：10万级。

3、清洗烘干工作台及管道1套

4、电气控制系统1套采用PLC+触摸屏全自动控制。

五、施工条件

1、电源：380V/50Hz，45KW，电缆引至控制柜。

2、蒸汽：压力0.175-0.9Mpa(G)，到指定接口点。

3、压缩空气：不小于流量3N m³/h，压力0.6~0.75Mpa(G)(气动阀、气缸用气)，指定接口点。

4、脱盐水：可提供条件，不小于120 L/min，到指定接口点。

5、纯水：不小于 120 L/min，到指定接点。

6、清洗剂：NaOH清洗液等，不小于2立方米。

7、三废处理：洗涤后的含酸或碱液废水、废渣，排放到需方指定处，由需方自行处理，配排污水(池、槽)沟；清洗和烘干产生的废气做室外排空排放。